Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀     

主要里程碑：        

◆  1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團亞瑟·布拉達切克和他的兒子漢斯·布拉達切克創立。        

◆  1969 - 研制了世界上基于集成電路的x射線檢測計數裝置，名為 COUNTIX 130。

◆  1989 - 開發 Omega-Scan 方法

BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測量系統 -    振蕩器產量從 50% 提高到 95%

◆  2005 - 將 Omega 轉移到其他材料，如SiC、藍寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金  

◆  2010 - 推出用于晶體取向測量的臺式 X 射線衍射儀 ( DDCOM ) 

全球售出 約 150臺石英分選系統

◆  2015 - X 射線技術和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH     

傳承60年德國工匠精神-三代X射線工程師        

 Omega/Theta XRD - X射線晶體定向儀產品優勢：       

◆  采用Omega-scan掃描方法       

◆  測試速度快: 5s        

◆  測角精度高: 0.003        

◆  兼具XRD定向功能以及Flat/Norch功能        

◆  磨拋定向解決方案        

◆  擁有晶錠粘接轉移的技術（堆垛 stacking）專為SiC工業設計，被多家SiC襯底頭部企業青睞，如：II-VI Advanced Materials, SiCrystal等，國外四分之三的碳化硅制造商依賴Freiberg Instruments公司的晶體取向測量技術，極大提高了生產效率，提升產品質量。 

◆  Mapping 面掃功能，搖擺曲線測定         

◆  易于集成到工藝線中        

◆  MES和/或SECS/GEM接口        

◆  傾斜的典型標準偏差（例如：Si 100）：< 0.003 °，小于< 0.001 °        

Omega/Theta X射線衍射儀是一個全自動的垂直三軸衍射儀，用于使用Omega-Scan和Theta-Scan方法對各種晶體進行取向測定和搖擺曲線測量。大而寬敞的設計可以容納長度達450毫米、重量達30公斤的樣品和樣品架。        

傾斜角可以以非常高的精度確定；使用Theta掃描可以達到0.001°。對于所有其他晶體方向，精度取決于與表面垂直的角差。        

該系統是模塊化的，已經配備了許多不同的擴展，用于特殊的目的，如形狀或平面的確定、繪圖和不同的樣品架。樣品的傾斜是通過光學測量檢測出來的，并可用于校正所產生的方向。        

Omega/Theta XRD - X射線晶體定向儀：        

◆  全自動完整的單晶體晶格取向測量        

◆  使用歐米茄掃描法進行超快速的晶體取向測量        

◆  自動搖動曲線測量功能        

◆  衍射儀的角度分辨率：0.1角秒。        

◆  樣品尺寸可達450毫米        

◆  適用于生產質量控制和研究        

 用戶友好，成本效益高：        

◆  方便的樣品處理，易于操作        

◆  先進的、用戶友好的軟件        

◆  能源消耗和運行成本低        

◆  模塊化設計，靈活性強        

◆  各種升級選項        

◆  根據用戶的要求進行定制        

選配功能：        

◆  自動Mapping面掃功能        

◆  Omega/Theta – 晶錠粘接轉移的技術（堆垛 stacking）        

◆  Omega/Theta - 搖擺曲線測量        

◆  Omega/Theta - 定制的樣品臺        

◆  用于樣品形狀測量的激光掃描儀        

◆  光學檢測，用于平面和凹槽檢測        

◆  額外的樣品旋轉軸用于3D繪圖        

◆  二級通道切割準直器（分析器）        

◆  用于樣品調整的設備