Omega/Theta XRD- 搖擺曲線測量意味著在Theta-scan模式(shi)下進(jin)行測量(liang)，這需要一個(ge)測角(jiao)儀。一個(ge)雙晶體被(bei)帶入(ru)主光束路(lu)徑，以減少光譜寬度(du)和(he)發(fa)散度(du)。然而，其(qi)副作用是(shi)強烈的強度(du)降低(di)。

晶體反射的搖擺曲線表示晶格的質量。這可以點下來進行快速檢查，也可以與Mapping工具結合起來，得到一個質量圖。

測(ce)量搖擺(bai)曲線意味著在Theta-scan模式下(xia)進行測(ce)量，這需(xu)要一個(ge)(ge)測(ce)角儀(yi)。一個(ge)(ge)雙(shuang)晶體被帶(dai)入主光束(shu)路(lu)徑(jing)，以減少光譜(pu)寬度(du)和發(fa)散度(du)。然而，其副作用是(shi)強(qiang)烈(lie)的強(qiang)度(du)降(jiang)低(di)。因此，雙(shuang)晶體被安(an)裝在一個(ge)(ge)可伸縮的支架(jia)上(shang)，以便能(neng)夠將其 "打開 "或 "關閉"。

Rocking curves of a 6H SiC crystal measured along a line on spots of 8 mm distance