?公司簡介

Freiberg Instruments成立于2005年，源自德國弗萊貝格工業大學。
初致力于開發一系列快速、無損的電氣特性測試工具，用于測量少數載流子壽命、光電導率和電阻率等參數。
2012年整合了Magnettech公司，該公司擁有25年ESR順磁產品經驗；2015年又整合了EFG的X射線衍射產品。
Freiberg Instruments是一家發展迅速，充滿活力，專業又具有創新的的分析儀器公司，產品廣泛應用于劑量學、
醫學研究、材料研究、電子自旋共振、微電子學、光伏、發光年代測定和x射線衍射等領域。 

?產品介紹

德(de)國(guo)弗(fu)萊貝(bei)格MDPinlinescan（MDP在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測儀）是一款(kuan)靈活的OEM設備(bei)，可以(yi)用于(yu)多種(zhong)不(bu)同樣品的在線壽(shou)命測量：從(cong)單晶(jing)到多晶(jing)硅錠，從(cong)生成態晶(jing)圓片到不(bu)同鍍層或(huo)金(jin)屬(shu)化晶(jing)圓的過程(cheng)控制。

MDPinlinescan（MDP在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測儀）配置標準軟件接口(kou)，易(yi)于連接到許多處理或自動化系統。

 --各種不同的樣品，從單(dan)晶(jing)硅到(dao)多晶(jing)硅，從生長的晶(jing)片到(dao)加工過(guo)的晶(jing)片，都可以通(tong)過(guo)MDPlinescan使用(yong)少(shao)子壽命測量進行(xing)檢測。

 --MDPlinescan是(shi)一個易于集成(cheng)的OEM單元，可集成(cheng)到各種自動化的檢測(ce)線。關(guan)鍵的測(ce)量參數是(shi)實(shi)時的載流(liu)子(zi)壽命(ming)掃描。

 --樣品通(tong)常由測(ce)量(liang)(liang)頭下的(de)傳送(song)帶或(huo)機器人(ren)系統(tong)來輸送(song)。應用實例(li)從晶(jing)(jing)錠到(dao)晶(jing)(jing)圓的(de)檢測(ce)，每個晶(jing)(jing)圓的(de)測(ce)量(liang)(liang)速度小于一秒(miao)。

 --該(gai)儀(yi)器(qi)有許多專門應用(yong)可能性。由于(yu)其易于(yu)集成，只(zhi)需(xu)要(yao)以太網連接(jie)和電(dian)(dian)源即可。例(li)如，電(dian)(dian)池生(sheng)產線上的來料質量檢查是其常用的一種應用方向，同樣，鈍化和(he)擴散后的工藝質(zhi)量檢查也能(neng)用到此款產品。

                                   

                                                       ;        

?特性

 --允(yun)許單(dan)片調查

 --配方的基礎(chu)測量

 --監控材料質量、工藝(yi)的(de)完整性(xing)和穩(wen)定性(xing)

?優勢

 ;--在(zai)µ-PCD或(huo)穩(wen)態激發條件下測(ce)量少(shao)數載流子壽(shou)命和(he)電阻率(lv)是這個工具(ju)的重(zhong)點。

 --用(yong)于集成在生(sheng)產線的多晶或單晶硅晶圓,包括材料(liao)制備，和(he)各種(zhong)工藝(yi)處理階段。

 --小(xiao)尺寸和(he)(he)標準(zhun)的(de)自動化接口使集成(cheng)變得容易。優勢是長時間的(de)可靠性和(he)(he)測量(liang)結果的(de)高精(jing)度。

?技術參數