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少子壽命測試儀µPCD/MDP (MDPpro 850+)用(yong)(yong)于(yu)單晶硅(gui)錠、硅(gui)磚和(he)硅(gui)晶圓片的生(sheng)產和(he)質量(liang)監控。用(yong)(yong)于(yu)HJT、HIT、TOPcon、雙(shuang)面(mian)PERC、PERC+太陽能(neng)電(dian)池、鈣(gai)鈦礦等中的硅(gui)材料(liao)。

MDPmap單晶(jing)(jing)和(he)(he)多晶(jing)(jing)硅片壽(shou)命測(ce)量(liang)儀被設計(ji)成一個緊湊的臺式(shi)非接觸電學表征工具，用于離線生產控制(zhi)或研發，在穩態或短脈沖激勵（μ-PCD）下(xia)，在一個寬的注入范(fan)圍內(nei)測(ce)量(liang)參數(shu)(shu)，如載流子壽(shou)命、光導率、電阻率和(he)(he)缺陷信(xin)息。自動化的樣品識別和(he)(he)參數(shu)(shu)設置允許輕松(song)適(shi)應各種不同的樣品，包括(kuo)外延層和(he)(he)經過不同制(zhi)備階(jie)段的晶(jing)(jing)圓，從原生晶(jing)(jing)圓到(dao)高達(da)95%的金屬化晶(jing)(jing)圓。

MDPlinescan在(zai)線少子壽命(ming)測(ce)試儀靈活(huo)的OEM少子壽命(ming)測(ce)試儀器，用于各種(zhong)不同樣品的少子壽命(ming)測(ce)量，從單晶硅(gui)磚到多晶硅(gui)磚，從生(sheng)長的硅(gui)片到不同層或金屬(shu)化的硅(gui)片的過程(cheng)控(kong)制。標準的軟(ruan)件接(jie)口，便于連接(jie)到許多處(chu)理或自(zi)動(dong)化系統。

MDPspot少子(zi)壽(shou)命測(ce)試儀低成本桌面(mian)單點測(ce)量硅(gui)片或晶磚(zhuan)，用于(yu)在(zai)不同(tong)制備階段(duan)表征各(ge)種不同(tong)的硅(gui)樣品，無需內置(zhi)自動化。可(ke)選(xuan)手動操作的z軸厚(hou)度高達156毫米的硅(gui)磚(zhuan)樣品，高達156毫米硅(gui)磚(zhuan)，結果(guo)可(ke)視化的標(biao)準軟件。

弗萊貝格的MDPpro（MDPpro晶(jing)(jing)圓片/晶(jing)(jing)錠(ding)壽命(ming)檢(jian)測儀--少子(zi)(zi)壽命(ming)）系(xi)列主要用于測量少子(zi)(zi)壽命(ming)、光電導率(lv)、電阻(zu)率(lv)和樣品平整度及p/n檢(jian)查等，其非接觸式檢(jian)測和無損成像（μPCD /MDP（QSS））的設(she)計*符合(he)SEMI標準PV9-1110。這(zhe)也(ye)使得該儀器(qi)在晶(jing)(jing)圓切割、爐內監(jian)控和材(cai)料優化等領域被廣(guang)泛應用。可以說，MDPpro是晶(jing)(jing)錠(ding)生產商以及晶(jing)(jing)體爐技術生產商d的標準儀器(qi)。

MDPmap（MDPmap晶圓(yuan)片壽命檢測儀--少子壽命測試）是一個緊湊的離線(xian)臺(tai)式檢測設備(bei)，主(zhu)要被設計用于生產(chan)控制或研發、測量少子壽命、光電(dian)導率、電(dian)阻率和缺陷信息等(deng)參(can)數(shu)。其工(gong)作狀態為穩(wen)態或短脈(mo)沖激勵下（μ-PCD）。

德國(guo)弗萊貝格MDPinlinescan（MDP在線晶(jing)圓(yuan)(yuan)片/晶(jing)錠點掃(sao)或面掃(sao)檢測(ce)儀）是一(yi)款靈活的OEM設備，可以用(yong)于多種不(bu)同樣品(pin)的在線壽命(ming)測(ce)量：從單晶(jing)到(dao)(dao)多晶(jing)硅錠，從生成態晶(jing)圓(yuan)(yuan)片到(dao)(dao)不(bu)同鍍層或金(jin)屬(shu)化晶(jing)圓(yuan)(yuan)的過程控(kong)制。配置標準軟件(jian)接口(kou)，易于連接到(dao)(dao)許多處理或自動(dong)化系統。

MDPinline（MDP高(gao)速(su)晶圓(yuan)(yuan)片(pian)在線面檢(jian)(jian)測(ce)儀(yi)--少(shao)子壽命(ming)檢(jian)(jian)測(ce)）是(shi)一種用于快速(su)定量(liang)(liang)測(ce)量(liang)(liang)載流(liu)子壽命(ming)并集成(cheng)掃描(miao)功(gong)能的檢(jian)(jian)測(ce)儀(yi)。通過(guo)工廠安裝的傳送帶將晶圓(yuan)(yuan)片(pian)移至儀(yi)器，在不到一秒的時(shi)間內(nei)，就可以“動(dong)態(tai)”測(ce)量(liang)(liang)出晶圓(yuan)(yuan)圖。該儀(yi)器可為(wei)每個(ge)晶圓(yuan)(yuan)片(pian)提供(gong)完整的拓(tuo)撲結(jie)構，有(you)效(xiao)提高(gao)了生產線的成(cheng)本效(xiao)益和效(xiao)率。且(qie)其實時(shi)質量(liang)(liang)檢(jian)(jian)測(ce)可以提高(gao)和優化諸如擴散和鈍化等(deng)處理步驟。

德國弗萊(lai)貝格儀(yi)器的(de)(de)MDPinline ingot（MDP晶(jing)(jing)錠(ding)在線面(mian)(mian)掃檢測(ce)儀(yi)--進(jin)口(kou)少子壽命(ming)(ming)測(ce)試(shi)）系統是(shi)快速多晶(jing)(jing)硅(gui)晶(jing)(jing)錠(ding)電(dian)學(xue)參數特(te)性(xing)測(ce)量(liang)工具。它是(shi)專為高通(tong)量(liang)工廠(chang)的(de)(de)單塊(kuai)晶(jing)(jing)錠(ding)測(ce)試(shi)而(er)研發的(de)(de)。每塊(kuai)晶(jing)(jing)錠(ding)可(ke)(ke)以在不到一分(fen)鐘時間里測(ce)量(liang)其(qi)四面(mian)(mian)。所有(you)的(de)(de)圖譜（壽命(ming)(ming)，光電(dian)導率(lv)，電(dian)阻率(lv)）都可(ke)(ke)以同時進(jin)行(xing)測(ce)量(liang)。