MDPlinescan在線少子壽命測試儀在眾多的少(shao)(shao)子(zi)(zi)壽命測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)方法中，MDP（微(wei)波(bo)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)光(guang)電導(dao)率(lv)）采用改進(jin)的少(shao)(shao)子(zi)(zi)壽命檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)技術，是(shi)微(wei)波(bo)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)光(guang)電導(dao)衰減法檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)儀中常用的儀器(qi)之(zhi)一，少(shao)(shao)子(zi)(zi)壽命測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)儀原(yuan)理從(cong)載流子(zi)(zi)輸(shu)運(yun)原(yuan)理出(chu)發，建立廣義速率(lv)方程和(he)(he)偏(pian)微(wei)分(fen)(fen)方程系(xi)統。擁有先進(jin)的靈(ling)敏度(du)和(he)(he)分(fen)(fen)辨率(lv)，很大程度(du)提升在線(xian)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)的速度(du)和(he)(he)質量(liang)，快(kuai)速出(chu)具少(shao)(shao)子(zi)(zi)壽命測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)的實驗(yan)報告。
       

MDPlinescan被設(she)計成一(yi)個易于(yu)(yu)集(ji)成的(de)OEM設(she)備，可以(yi)集(ji)成到(dao)各種(zhong)自動化(hua)檢(jian)(jian)測線。關(guan)鍵(jian)的(de)是在傳(chuan)(chuan)送過程中(zhong)進行少子(zi)(zi)壽命掃描。樣品通(tong)常由測量頭下面的(de)傳(chuan)(chuan)送帶或機器(qi)人(ren)系(xi)統攜(xie)帶。應(ying)用實例(li)包括從晶磚到(dao)晶圓檢(jian)(jian)測，單晶少子(zi)(zi)壽命測試、多(duo)晶少子(zi)(zi)壽命測試，每塊晶圓的(de)測量速度小于(yu)(yu)一(yi)秒。電(dian)池生產線上的(de)來(lai)料質量檢(jian)(jian)查(cha)是經典的(de)通(tong)用案例(li)，也用于(yu)(yu)鈍化(hua)和擴散后的(de)工藝質量檢(jian)(jian)查(cha)，還有許(xu)多(duo)其他特殊的(de)應(ying)用的(de)可能性。易于(yu)(yu)集(ji)成，只需要以(yi)太網(wang)連(lian)接(jie)和電(dian)源。
 

MDPlinescan W       

包括一(yi)個額外(wai)的(de)電(dian)阻(zu)率(lv)測量選項。        

MDPlinescan在線少子壽命測試儀優點：         

◇  在µ-PCD或穩態激勵條件下線掃描少數載流子壽命和電阻率是這個小型設備的重要功能；        

◇  OEM設備可以集(ji)成到多晶或單晶硅(gui)片的(de)生(sheng)產線上，在不同的(de)制備階段(duan)，直至器件、磚塊或晶錠。        

◇  小巧的尺寸和標準的自動化接口使其易于集成。重點是測量結果的長期可靠性和精確性。        

        示范性線狀(zhuang)掃描圖        

細節：                  

◇  允(yun)許單晶(jing)圓(yuan)片(pian)調查                 

◇  不同的晶圓級有不同的配方        

◇  監控物料、工藝質量和穩定性     

技術規格: